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APNC EX4 砷磷烷湿法尾气设备

APNC EX4 砷磷烷湿法尾气设备

光电/化合物半导体、太阳能电池等领域广泛使用GaAs、InP等气体。英国APNC公司拥有35+年砷磷烷scrubber建造和服务经验；明晰设备设计原理。

ALPHA 便携式 -120°C – SADPmini2/EX

ALPHA 便携式 -120°C – SADPmini2/EX

SADPmini2/EX SADPmini2是最灵敏、最可靠的便携式湿度计，可对工业过程气体和干燥压缩空气中的微量水分含量进行快速抽查测量。 坚固轻便的结构能够在最恶劣的环境中进行测量，而超高电容传感器则具有无与伦比的精度、灵敏度、响应速度、可重复性和长期稳定性。

ALPHA 在线式-120°C – AMT-BBT-120-GP/IS

ALPHA 在线式-120°C – AMT-BBT-120-GP/IS

英国Alpha深耕露点测量领域已逾三十年，其露点仪广泛运用于高纯气体、空分、半导体、光电等对空气质量要求严格的行业。Alpha AMT-BBT变送器量程可至-120°C (相当于不到 1 ppbV)。

QE-R

QE-R

QE-R 量子效率系统可提供各种太阳能电池精准的 EQE 检测数据。搭配光焱配套开发的自动化检查软件，使其 IPCE、IQE 和光谱响应数据的检测准确快速。 QE-R 量子效率系统提供的量子效率信息通常被太阳能电池的研究人员用来说明和研究器件设计、器件性能、制程改进、材料带隙、杂质或陷阱。 由于 QE-R 量子效率系统的高重复性和准确性，计量工程师也使用 QE-R 量子效率系统进行光谱失配计算和太阳能电池转换效率的不确定性评估。 QE-R 量子效率系统被 500 多个优秀太阳能电池研究实验室采用，近 10 年发表 SCI 论文 1000 余篇，包括 Nature、Science、Joule、Advanced Materials 等多家旗舰期刊。

APD-QE

APD-QE

APD-QE 采用独家光束空间均匀化技术，利用 ASTM 标准的「Irradiance Mode」测试方式，与各种先进探针台形成完整的微米级光传感器全光谱量子效率测试解决方案。APD-QE 已被应用于多种先进光传感器的测试中，例如在iPhone光达与其多种光传感器、Apple Watch 血氧光传感器、TFT 影像传感器、有源主动像素传感器（APS）、高灵敏度间接转换 X 射线传感器等。

SG-A

SG-A

SG-A CMOS 图像传感器测试仪 快速安装和快速部署可以帮助您加快上市时间。 　　SG-A 系统是世界上第一个商用 CMOS 图像传感器测试仪。 SG-A 可以提供最全面的 CMOS 图像传感器参数表徵，如全谱量子效率 QE、整体系统增益 K、时间暗噪声、信噪比、绝对灵敏度阈值、饱和容量、动态范围、DSNU 、PRNU、线性误差和主光线角 CRA。 被测设备可以是多种类型的 CMOS 图像传感器模块。检验程序符合 EMVA 1288 标准。因此，SG-A CMOS 图像传感器测试仪可用于晶圆级光学检测、工艺参数控制、微透镜设计、微透镜验证。 SG-A CMOS 图像传感器测试仪的高度准直光束（<1°）可以克服传统光学系统（如积分球系统）无法解决的新制造工艺的检测难题。这些工艺包括小像素（< 1 um）、BSI 和 3D 堆叠、微透镜、新的拜耳阵列设计等。

Ecosys M91A

Ecosys M91A

M91A是同类等离子体气化和湿式减排系统中的第一选择，透过很低的消耗功率将氟化化合物等高度稳定的材料分解成更小的分子。 M91A是开发和测试用来处理PFC的气体，这些气体主要存在于当今半导体和平板显示器工艺化学工业中。 M91符合氟化温室气体的分解控制和氧化处理的工业规范。

Ecosys C91

Ecosys C91

C91是一种先进的集成热湿减排系统，旨在为当今要求苛刻的半导体、LED和平板显示器工艺化学提供气体控制处理。 C91使用多个带容错系统的加热棒，以减少系统停机时间。加热器在反应室中均匀分布，以确保工艺气体得到充分分解。

Michell在线式-120°C — Pura-BBT

Michell在线式-120°C — Pura-BBT

Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合工业化的材料和制造，打造出的首个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

Michell在线式-110°C — Easidew Series

Michell在线式-110°C — Easidew Series

Michell Easidew Series用于安全和危险区域的湿度变送器 Easidew 系列工业变送器采用最新的 Michell 先进陶瓷技术，为所有露点应用提供稳定、可靠和可重复的湿度测量。

湿法ICP/PECVD尾气处理设备

湿法ICP/PECVD尾气处理设备

本系统主要用于处理ICP/PECVD系统排放的废气，如BCL3，CL2，HCL，SiCl4等水溶性气体。优良的设计保证了高处理效率和容易使用的同时具有低运行和维护成本的特点。标准型系统为4个入口，总气体流量为600LPM。当然，也可以根据客户需要进行设计。

湿法NH3尾气处理设备

湿法NH3尾气处理设备

微电子半导体行业经常会产生对环境高腐蚀性，高危害的气体和颗粒。半导体制程设备排放可能会含有制程气体和新生成的气体或颗粒。出于环境，环境健康方面的考虑和越来越严格的政府规定促使使用空气污染气体排放控制系统。此系统采用文丘里入口和两个对流填料塔设计，主要用来处理MOCVD排放出来的氨气。

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