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特色：
• 使用均匀光斑的「照度模式」（Irradiance Mode） 符合ASTM E1021
• 取代传统聚焦小光斑，可以测试 um 等级的光电侦测器。
• 均匀光斑可以克服色散差与像差的问题，可准确测得 EQE 曲线
• 可搭配多种探针台系统，实现非破坏性的快速测试。
• 整合光学与测试系统，提高系统搭建效率。
• 一键式自动化测试软件，自动全光谱校正与检查，工作效率高。
• 测试特性：
– 外部量子效率 EQE
– 光谱回应 SR
– I-V 曲线检查
– NEP 光谱检查
– D* 光谱检查
系统规格
主要系统：
• 量子效率测试系统
– 300nm ~ 1100nm
– 可扩展到 2500nm
• 检查软件
– PDSW 软件
– 可选配 FETOS 软件（ 3T 或 4T 组件）
• （选配）探针台系统
– 4” 标准探针台 (MPS-4-S)
• 可客制化探针台系统整合与屏蔽暗箱
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