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光电半导体

Ecosys C91

C91是一种先进的集成热湿减排系统,旨在为当今要求苛刻的半导体、LED和平板显示器工艺化学提供气体控制处理。
C91使用多个带容错系统的加热棒,以减少系统停机时间。加热器在反应室中均匀分布,以确保工艺气体得到充分分解。

应用:

多晶硅

化学气相沉积

自燃/可燃气体燃烧

气柜排气吹扫

优势:

容错加热器设计

沉淀室

颗粒分离系统

限制NOx和CO排放

低耗水和循环水系统

易于使用和维护

可选配件

第三方认证,符合 SEMI S2 标准, CE 标记

以太网就绪

Ecosys C91
C91是一种先进的集成热湿减排系统,旨在为当今要求苛刻的半导体、LED和平板显示器工艺化学提供气体控制处理。
C91使用多个带容错系统的加热棒,以减少系统停机时间。加热器在反应室中均匀分布,以确保工艺气体得到充分分解。
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