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C91是一种先进的集成热湿减排系统,旨在为当今要求苛刻的半导体、LED和平板显示器工艺化学提供气体控制处理。C91使用多个带容错系统的加热棒,以减少系统停机时间。加热器在反应室中均匀分布,以确保工艺气体得到充分分解。
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应用:
多晶硅
化学气相沉积
自燃/可燃气体燃烧
气柜排气吹扫
优势:
容错加热器设计
沉淀室
颗粒分离系统
限制NOx和CO排放
低耗水和循环水系统
易于使用和维护
可选配件
第三方认证,符合 SEMI S2 标准, CE 标记
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